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    產品信息: 傳感器 | 傳感器產品推薦

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    六維并聯壓電掃描平臺(納米級精密定位平臺)

    瀏覽次數: 324
    • 所屬系列:傳感器 - 其他傳感器
    • 規格型號:P68系列
    • 最小起訂量:1
    • 所 在 地:遼寧 - 沈陽市
    • 發貨期限:電話咨詢
    發布日期:2016年4月28日    沈陽研生科技有限公司
    產品介紹

    產品概述
    P681S / P683S / P685S是采用壓電陶瓷驅動的六維并聯納米級精密定位掃描平臺,平臺內部使用無摩擦及空回的柔性鉸鏈導向機構,確保了平臺極佳的運動精度。平臺內置精密位移傳感器進行全閉環的位置反饋,定位精度、分辨率和穩定性可以達到納米量級,定位穩定時間僅為毫秒量級。平臺內部采用并聯式結構設計,結構緊湊,所有促動器作用在同一個移動臺面上,可同時實現多軸運動且每軸具有相同的動態性。對比嵌套式或疊堆式的串聯結構,并聯結構有著更輕的質量,更低的慣量和更高的動態性。中空式設計,且中央通孔較大,可更好的適用于顯微及掃描系統中。

    產品特點
    外形尺寸為175 x 175 x 38mm ;行程:XYZ150μm x θXθYθZ1mrad / XYZ300μm x θXθYθZ2mrad / XYZ500μm x θXθYθZ3.5mrad;分辨率為3.5μm / 7.5μm / 12μm ;中空尺寸為75 x 75mm ;快速響應 ;出色的掃描平面度 ;優異的導向精度 ;內置高性能的壓電陶瓷 ;高穩定性 ;開/閉環可供選擇

    產品應用
    掃描顯微鏡(SPM) ‖ 干涉 ‖ 計量 ‖ 掩模/晶圓定位 ‖ 度量衡學 ‖ 生物技術 ‖ 顯微光學 ‖ 激光技術 ‖ 微操作

    詳情請登陸研生科技公司官網:www.piezoxyz.com 咨詢電話:024-31239010

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